STEM

 

Scanning transmission electron microscopy) STEM) قابلیتی برای ترکیب اصول مورد استفاده در میکروسکوپ الکترون انتقالی (TEMs) و میکروسکوپ SEM است. STEM تکنولوژی و تکنیکی محبوب برای آزمایشگاه هایی است که میکروسکوپ الکترون انتقالی (TEM) ندارند. آشکارسازهای STEM توانایی های تصویربرداری و قدرت تحلیلی SEM و FIB-SEM را با ارائه اطلاعات منحصر به فرد که توسط الکترون های انتقالی به دست می آیند، گسترش می دهد. نمونه هایی که با این آشکارساز مورد تجزیه و تحلیل قرار می گیرند باید به صورت لایه ای نازک  با ضخامت های کمتر از 100 نانومتر آماده شوند. این روش می تواند در ترکیب با آنالیزهای عنصری مانند EDX و EBSD اطلاعات میکروآنالیز با رزولوشن بسیار بالا از نمونه ارائه دهد.

الکترون های انتقالی در زوایای مختلف اطلاعات مختلفی از نمونه ارائه می دهند.

- تصویر زمینه روشن (BF) به طور معمول نشان دهنده کنتراست جهت گیری پراش براگ Bragg-diffraction و کنتراست جذب در لایه نازک است.

- تصویر زمینه تاریک (DF) حاوی کنتراست جهت گیری و کنتراست مواد در عناصر سبک است.

- میدان تاریک زاویه بالا (HADF) حاوی حداکثر اطلاعات در مورد کنتراست مواد و کمترین اطلاعات در مورد کنتراست Bragg-diffraction است.

زاویه پراکندگی بستگی به مواد نمونه، ضخامت لایه نازک و انرژی پرتو دارد.

آشکارساز STEM قادر به بررسی ساختار در نمونه های بیولوژیکی، تجزیه و تحلیل شکست در دستگاه های نیمه هادی و مشخصه یابی مواد است.

TESCAN دو نوع آشکارساز STEM را طراحی کرده است که می توانند به سیستم SEM یا FIB-SEM نصب شوند که این موضوع توان تحلیلی آن ها را افزایش می دهد. در سیستم FIB_SEM لاملا های با کیفیت بالا می توانند تهیه و در همان محل تجزیه و تحلیل شوند.

 

امکانات آشکارسازهای STEM:

آشکارساز STEM شامل سه سنسور نیمه هادی برای تصویربرداری زمینه روشن و زمینه تاریک است.

تهیه تصویر زمینه روشن و زمینه تاریک به صورت همزمان و یا مخلوط کردن آنها امکان پذیر است

طراحی جمع و جور - آداپتور قابل جابجایی بر روی استیج.

امکان قرارگیری شبکه استاندارد TEM روی نگهدارنده نمونه.

 

قابلیت های آشکارساز HADF R-STEM ( آشکار ساز STEM زمینه تاریک با زوایای بالا):

نمونه های متعدد را می توان بدون نیاز شکستن خلاء محفظه بررسی کرد

امکان دریافت همزمان DF, BF و HADF

STEM رنگی: سیگنال های BF، DF و HADF می توانند به صورت رنگی کد گذاری شوند و در یک تصویر واحد ترکیب نمایش داده شوند.

برای رسیدن به بهترین شرایط تصویربرداری، نمونه را می توان نسبت به آشکارساز بالا و پایین حرکت داد

نمونه را می توان مستقل از آشکارساز کج کرد (به نمونه زاویه داد)

دستیابی به محدوده بزرگتر با استفاده از Image Snapper ممکن است

دارا بودن نگهدارنده نمونه قابل تعویض برای کار کرد راحت تر با شبکه (Grid manipulation)

دو نوع نگهدارنده نمونه در دسترس است: نگهدارنده های چند نمونه ای و نگهدارنده نمونه های لایه نازک

طراحی هندسی خاص برای امکان استفاده از EDX