آشکارسازهای سه گانهTriSE) SE)

 

TriSE آشکارسازهای سه گانه الکترون های ثانویه SE است که تصویربرداری تقریبا بدون اختلال (Noise) و با کاملترین جزئیات از سطح نمونه را ممکن میسازد. تمامی حالت های کاری از رزولوشنهای خیلی بالا (Ultra-high Resolution) تا کاهش سرعت پرتو به این تکنولوژی مجهز شده اند که با استفاده از الکترودهای هدایت سیگنال مناسب، الکترون ها به سمت این آشکارسازها هدایت میشوند.

سیستم آشکار سازهای سه گانه SE

a) آشکارساز SE حالت (BDM): این حالت برای تصویربرداری نهایی در پرتوهای سرعت پایین کاربرد دارد.

b) آشکارساز SE داخلی In-Beam: برای تصویربرداری با حداکثر حساسیت به سطح نمونه و با حدکثر رزولوشن و وضوح تصویر.

c) اشکارساز  SE درون محفظه: برای ثبت کنتراست سطحی و آنالیز در بهترین موقیت ممکن قرار گرفته است تا بتواند کوچکترین جزئیات سطح را دریافت کند.