آشکارسازهای سه گانهTriBE) BSE)

 

این آشکارسازها جهت تشخیص الکترون های بازگشتی BSE با زوایای مختلف برای ارائه اطلاعات جامع از ترکیبات ماده طراحی شده است. هندسه پیچیده ی طراحی شده این آشکارسازها باعث میشود بتوان الکترون ها با زوایای مختلف را از هم تمیز داد.

a) آشکارساز BSE داخلی In_Beam: اطلاعات کنتراست ترکیبی را از سطح نمونه، توسط الکترون های بازگشتی با زوایای محوری دریافت میکند.

b) آشکارساز BSE با زایه میانی (Mid-Angle): درون ستون قرار گرفته و تصاویر Map با اخلال (Noise) کم را ثبت میکند و برای نمونه های کوچک WD بسیار ایده آل است. این آشکارساز عموما برای تشخیص ترکیبی به کار میرود اما میتواند تصاویر سطح (توپوگرافی) نیز ارائه دهد.

c) آشکارساز BSE متحرک درون ستون: این آشکارساز بین نمونه و قسمت قطبی قرار گرفته و عموما برای تصاویر سطحی (توپوگرافی سطحی) به کار میرود اما میتواند کنتراست ترکیبی نیز ارائه کند. این نوع آشکارساز برای نمونه های پلیش شده که کنتراست تصویر کمی دارند بسیار مناسب است  (Wide Angle).