LYRA3 یک سیستم Dual Beam است که از ترکیب یک ستون FE-SEM با رزولوشن بالا و یک منبع یون Ga با عملکررد بالا ایجاد شده است. LYRA یک انتخاب بسیار عالی برای تهیه مقاطع عرضی (Cross-Section) ، تهیه ی لایه نازک (Lamella) از محل خاص برای TEM با کیفیت بالا و توموگرافی FIB-SEM با وضوح بالا برای بازسازی نمونه های 3D می باشد. جریان بالای پرتو میتواند به رزولوشن بسیار بالایی فراهم کند که در هنگام آنالیز با EDX, WDX و EBSD یک مزیت به حساب می آید.
نرم افزار قدرتمند و درعین حال ساده ی این دستگاه، حتی کاربران تازه کار را قادر می سازد بدون نیاز به برنامه های پیچیده FIB-SEM مانند بازسازی های 3D و تهیه لاملا و … را اجرا کنند.
LYRA3 یک دستگاه برای برطرف کردن نیاز امروز در زمینه مشخصه یابی و میکرو آنالیز است. علاوه بر این، لیتوگرافی پرتو/یون و همچنین ویرایش مدار دستگاه های میکروالکترونیک چند لایه، وظایفی است که LYRA3 در آن بهترین است.
ویژگی های کلیدی:
- طراحی منحصر به فرد دید وسیع (wide Field Optics) به همراه یک لنز متوسط اختصاصی (IML) یک رنج وسیعی از مودهای کاری و تصویربرداری را ممکن میسازد (به عنوان مثال عمق فوکوس های مختلف)
- Real time In-Flight Beam Tracing برای عملکرد و بهینه سازی پرتو که قابلیت کنترل مستقیم و مداوم روی اندازه و جریان پرتو را دارد.
- تنظیمات سیستم الکترونی به صورت کاملا اتوماتیک.
- سرعت بالای تصویربرداری.
- تصویربرداری منحصر به فرد استریوسکوپی با استفاده از تکنولوژی پیشرفته 3D Beam که تجربه بررسی و تصویر بردازی 3D در مقیاس نانو و میکرو را در اختیار کاربر میگذارد.
- سیستم پیشرفته CANION FIB برای آماده سازی سریع و دقیق مقطع عرضی و آماده سازی نمونه TEM.
- ستون COBRA-FIB با رزولوشن فوق العاده، بالاترین سطح از تکنولوژی را از لحاظ رزولوشن برای تصویربرداری و فرزکاری نشان می دهد. این یکی از دقیق ترین ابزار FIB برای نانو تکنولوژی در جهان است.
میکروسکوپ روبشی
EDX
آزمایشگاه SEM