شنبه -پنجشنبه ۰۲۱-۸۸۰۵۱۲۴۸-۹
  • قیمت : لطفا جهت اطلاع با شرکت تماس گرفته شود
توضیحات کامل

تصویربرداری فوق العاده با رزولوشن و وضوح تصویر بسیار بالا و قدرت فوق العاده micromachining در یک دستگاه واحد جمع شده است.

آیا نمونه های شما نیاز به پرداخت فوق العاده قدرتمند و فوق العاده سریع در مقیاس میکرو یا نانو توسط FIB دارند و یانیاز به تصاویری با رزولوشن و وضوح فوق العاده بالا در انرژی پایین پرتو دارید؟ میکروآنالیز فوق العاده سریع و قابل اعتماد و یا بازسازی های تحلیلی سه بعدی مورد نیاز شما است؟دستگاه XEIA3 به عنوان یک سیستم FIB-SEM ایده آل تمام این قابلیت ها را در یک ابزار منحصر به فرد و با عملکرد عالی ارائه می دهد. TESCAN با این دستگاه نه تنها یک ابزار بالاتر از کلاس خود را ارائه می دهد، بلکه بار دیگر به تعهد خود برای ادامه کمک به پژوهشگران به سوی پیشرفت علم و توسعه عمل کرده است. این همچنین در سفارشی دقیق هر سیستم منعکس شده است تا نیازهای خاص هر مشتری را برآورده کند. از مواد به علوم زیستی یا از مهندسی تا صنعت نیمه هادی TESCAN عملکرد این دستگاه را بدون هیچ مشکلی تضمین میکند.

 

ویژگی های کلیدی:

- طراحی منحصر به فرد دید وسیع (wide Field Optics) به همراه یک لنز متوسط اختصاصی (IML) یک رنج وسیعی از مودهای کاری و تصویربرداری را ممکن میسازد (به عنوان مثال عمق فوکوس های مختلف)

Real time In-Flight Beam Tracing  برای عملکرد و بهینه سازی پرتو که قابلیت کنترل مستقیم و مداوم روی اندازه و جریان پرتو را دارد.

- تنظیمات سیستم الکترونی به صورت کاملا اتوماتیک.

- سرعت بالای تصویربرداری با نرخ حدودا 20 نانوثانیه.

- تصویربرداری منحصر به فرد استریوسکوپی با استفاده از تکنولوژی پیشرفته 3D Beam که تجربه بررسی و تصویر بردازی 3D در مقیاس نانو و میکرو را در اختیار کاربر میگذارد.

50 برابر سریعتر از FIB های LMIS Ga.

- جریان جریان یون 1pA تا 2μA و رزولوشن کمتر از 25نانومتر

- حجم بالایی از یون های xenon با جریان FIB بزرگتر برای اسپاترینگ فوق العاده سریع حتی بدون افزایش گاز کمکی

- کاهش قابل توجهی در نفوذ یون (ion implantation) در مقایسه با FIB های LMIS Ga

- اتم های گاز نجیب Xe خواص الکتریکی را در مجاورت منطقه مورد بررسی نشان نمی دهند

- بدون ایجاد ترکیبات اینترمتالیک در طی پرتودهی FIB

 

 

 

میکروسکوپ روبشی

EDX

آزمایشگاه SEM

مشخصات فنی محصول

ابعاد مدل XM

ابعاد داخلی 290mm × 340mm
W × D
ابعاد در 290mm × 322mm
W × H
تعداد پورت ها 12
نوع نگهدارنده اتوماتیک
حداکثر ارتفاع مجاز نمونه با چرخش 96 میلیمتر
بدون چرخش 137 میلیمتر
چرخش (Rotation) 360 درجه
شیب (Tilt) 90+ تا 30-

ابعاد مدل GM

ابعاد داخلی 340mm × 315mm
W × D
ابعاد در 340mm × 320mm
W × H
تعداد پورت ها 20
نوع نگهدارنده اتوماتیک
حداکثر ارتفاع مجاز نمونه با چرخش 96 میلیمتر
بدون چرخش 137 میلیمتر
چرخش (Rotation) 360 درجه
شیب (Tilt) 90+ تا 60-

سیستم خلا

خلا محفظه در حالت فشار بالا : 4-^ 10 × 5 پاسکال
در حالت فشار کم: 500-7 پاسکال
خلا تفنگ الکترونی کمتر از 7-^10 × 3 پاسکال
خلا تفنگ یونی کمتر از 6-^10 × 5 پاسکال

مشخصات سیستم الکترونی

تفنگ الکترونی High Brightness Schottky Emitter
بزرگنمایی 4 تا 1.000.000 برابر
Prob Current 2pA تا 400nA
Beam Energy 200eV تا 30keV
امکان کاهش تا 50eV با BDT

مشخصات سیستم یونی

ستون یونی i-FIB
تفنگ یونی Xe Plasma ion Source
بزرگنمایی حداقل 150 برابر با 10kV
حداکثر 1.000.000 برابر
Prob Current 1pA تا 2 میکرو آمپر
SEM-FIB زاویه 55 درجه
رزولوشن 25 نانومتر در 30keV
ولتاژ تولیدی 3kV تا 30kV

آشکارسازها

SE دارد
Retractable BSE دارد
In-Beam SE دارد
LVSTD دارد (Optional)
BDT دارد (Optional)
In-Beam LE-BSE دارد
LE-BSE دارد (Optional)
STEM دارد (Optional)
CL دارد (Optional)
EBIC دارد (Optional)
EDX دارد (Optional)
WDX دارد (Optional)
EBSD دارد (Optional)

تجهیزات جانبی

PA Meter دارد
Touch Alarm دارد
IR TV Camera دارد
Peltier Cooling Stage دارد (Optional)
Load Lock دارد (Optional)
Active Vibration Isolation دارد (Optional)
Beam Blanker for SEM Column دارد (Optional)
Gas Injection System دارد (Optional)
نظر

  نظرات کاربران (0 نظر)

شما هم می توانید در مورد این مطلب نظر دهید نظر خود را بنویسید
امتیاز شما به این مطلب: