K1050X یک رآکتور پلاسمای مدرن و حالت جامد است که برای استفاده در کاربردهای تحقیق و توسعه و تولیدات کوچک، طیف گسترده و متنوعی از کاربردها از قبیل اچ پلاسما، تمیز کاری پلاسما و پوشش پلاسما در بر میگرد.
این دستگاه به طور ایزوتروپیک (در همه جهات) و مناسب برای طیف گسترده ای از کاربردها و برای استفاده سنگین (24 ساعت در روز برای برخی کاربرهای) طراحی شده است. این دستگاه دارای میکروکنترلر با عملکرد اتوماتیک و دوام و سادگی عمل بسیار عالی است.
K1050X از گازهای تهییج شده RF با فشار پایین برای اصلاح سطوح نمونه یا برداشتن ماده از سطح نمونه ها با یک روش ملایم و کنترل شده استفاده می کند. طیف گسترده ای از حالات اصلاح سطح با استفاده از انواع گازهای فرآیند در دسترس هستند. با استفاده از اکسیژن (یا هوا) به عنوان گاز فرایند، مولکول های گاز به اتم ها و مولکول های فعال شیمیایی تجزیه می شوند و محصولات احتراق حاصل از آن به راحتی توسط سیستم خلاء به خارج منتقل میشوند.
مزیت قابل توجهی که این روش نسبت به سایر روش ها دارد این است که فرایندهای اچ کردن و پلاسما اش به صورت خشک (بدون نیاز به مواد شیمیایی تر) و در دماهای نسبتا کم انجام میشوند.
ویژگی های کلیدی
استیج نمونه به صورت کشویی - دسترسی راحت به نمونه ها
میکرو کنترلر: قابل برنامه ریزی توسط اپراتور - کارکرد آسان و انعطاف پذیر
عملکرد کاملا اتوماتیک
منبع تغذیه حالت جامد و به روز 100 وات 13.56 مگاهرتز RF - نیرومند و قابل اعتماد
دو دستگاه اندازه گیری جریان گاز - اجازه کنترل دقیق و مخلوط کردن گازهای فرآیند را میدهد که به ویژه برای فرایندهای اچ پلاسما مفید است
سیستم کنترل خروجی – حداقل کردن اختلال در نمونه - به ویژه برای نمونه های plasma-ashed مفید است