MIRA3 یک سیستم SEM با کارایی بالا است که دارای فیلمان شاتکی با وضوح بالا برای دستیابی به تصاویر با کیفیت بسیار بالا و نویز کم است. MIRA3 تمامی مزایایی که با آخرین تکنولوژی ها و پیشرفت های SEM ارائه می شود را داراست که از جمله آن ها ارائه سریعتر تصویر، سیستم اسکن فوق العاده سریع و ... است.
وضوح بسیار عالی آن در حین تصویر برداری با جریان قوی از الکترون ها، به ویژه برای آنالیز EDX، WDX و EBSD، بسیار مفید است. توانایی تصویربرداری در انرژی های الکترون پایین با استفاده از تکنولوژی کاهش سرعت پرتو (BDT) بسیار توسعه یافته است. دستگاه میرا MIRA3 شامل اندازه محفظه های LM، XM و GM با هندسه بهینه شده است که قادر به کار در هر دو حالت خلاء کم و زیاد است.
ویژگی های کلیدی
- روشنایی بسیار بالا در تصویربرداری های جریان بالا، رزولوشن بالا و تصاویر با کمترین اختلال.
- طراحی منحصر به فرد میدان دید با یک لنز میانی اختصاصی (IML) که ارائه انواع حالت های نمایش و کار را برای افزایش دید، عمق نفوذ و ... ممکن می سازد.
- قدرت مانور بالا بر روی پرتو که قابلیت بهینه سازی در عملکرد پرتو را در مدت زمان کوتاهی فراهم می سازد تا امکان کنترل مستقیم و مداوم جریان ایجاد شود. وجود تکنولوژی کاهش سرعت پرتو نیز وضوح تصویر عالی در ولتاژهای کم را میسر میکند.
- تصویربرداری عالی در فاصله های کاری کم با وجود تکنولوژی In-Beam (انتخابی).
- محفظه ی تمامی سایزهای این دستگاه توسط یک نگهدارنده 5-محوره اتوماتیک و هندسه مناسب برای اتصال EDX وEBSD مجهز شده اند.
- مدل های محفظه بزرگ (GM, XM) قادر به آنالیز نمونه هایی با ابعاد 16، 21 و 31 سانتی متری هستند.
- حضور پورت های متعدد جهت اتصال EDX, WDX، EBSD و ... .
- قابلیت ارزیابی نمونه های غیر رسانا در فشار خلا های متعدد.
- سیستم تعلیق های مختلف مخصوص محفظه برای کاهش ارتعاشات.
میکروسکوپ روبشی
EDX
آزمایشگاه SEM