K850WM یک دستگاه کوچک و رومیزی است که برای خشک کردن ویفر ها 150 میلیمتری در دمای بحرانی طراحی شده است. یک نگهدارنده ویفر مناسب جابه جایی سریع نمونه ها را میسر میکند و تضمین می کند که خشک شدن قبل از نقطه بحرانی رخ ندهد.
K850WM دارای سیستم گرمایش و خنک کننده داخلی با استفاده از E4860 Recirculating Heater / Chiller است. با استفاده از این سیستم دما در حین خنک کردن تا 5 + درجه سانتیگراد و تا 35 +درجه سانتیگراد در طی گرمایش می رسد. این سیستم تضمین می کند که نقطه بحرانی به طور دقیق به دست می آید و از فشارها و درجه حرارت بیش از حد جلوگیری می کند و نیاز به سوپاپ تنظیم فشار در طول دوره گرمایش را از بین میبرد.
K850WM دارای یک محفظه عمودی است که اجازه می دهد بارگذاری نمونه ها از بالا صورت گیرد. وجود یک پنجره در بالا اجازه می دهد تا در طول فرآیند خشک کردن ، محفظه و ویفر ها را مشاهده کنید.
مکانیزم جابه جایی نمونه ها ساده است و تضمین می کند که نمونه در حین بارگزاری در زیر مایع باقی بماند.
ویژگی های کلیدی
محفظه با قطر 170 میلی متر - برای خشک کردن ویفر / MEMS بهینه شده است
محفظه عمودی با بارگذاری بالا و تخلیه پایین - تضمین می کند که نمونه ها در طول خشک شدن پوشیده بمانند
گرمای ترموالکتریک - کنترل دمای دقیق
کنترل دقیق فشار با سوپاپ کنترل
نظارت و کنترل دما با قطع سیستم حرارتی
نظارت بر فشار با سیستم ایمنی قطع فشار بیش از حد