ویژگی های کلیدی:
- ترکیبی منحصر به فرد از سه لنز شیئی (TriLens) بدون تداخل پرتوها
- سیستم آنالیز پیشرفته با آشکارسازهای چندگانه الکترون های BSE, SE (آشکارسازهای TriSE و TriBE)
- سیستم Triglav برای تهیه تصاویر با رزولوشن بسیار بالا در انرژی پرتوهای پایین (1نانومتر در 1KeV و 0.7 نانومتر در 15KeV)
- سیستم اتلاف حرارتی برای ایجاد پرتو با حداکثر پایداری
- جریانی از پرتوهای الکترونی تا 400nA (نانو آمپر) با امکان تغییر سریع.
- بهینه سازی هندسه ستون برای قرارگیری شبکه های (Wafers) تا حد 20 سانتی متر
- حالت پیشرفته محفظه خلا کم با فشار حدودی 500Pa پاسکال برای تصویر برداری از نمونه های نارسانا
- تکنولوژی کاهش سرعت پرتو الکترونی (Beam Deceleration Mode) برای ایجاد وضوح تصویر عالی در هنگام استفاده از پرتوهایی با انرژی کم تا حد 50eV
میکروسکوپ روبشی
EDX
آزمایشگاه SEM