شنبه -پنجشنبه ۰۲۱-۸۸۰۵۱۲۴۸-۹
  • قیمت : لطفا جهت اطلاع با شرکت تماس گرفته شود
توضیحات کامل

FERA 3 اولین دستگاهی در جهان است که توانسته سیستم پرتوی یونی Xe پلاسما را با سیستم میکروسکوپ الکترونی (SEM) در کنار هم قرار دهد که باعث شده جریان پرتوی یونی تا 2 میکروآمپر افزایش یابد در نتیجه سرعت انجام کار تا 50 برابر بیشتر از حالتی باشد که از Ga به عنوان منبع پرتوی یونی استفاده می شود. تمام این ها باعث می شود FERA3 ابزار بسیار ایده آل برای انجام کارهای بزرگی باشد که از نظر زمانی وقت گیر یا غیرممکن هستند.

FERA 3 میتواند همزمان ویژگی های یک میکروسکوپ الکترونی را با سرعت بالاتری در تصویر برداری و اسکن همراه با قابلیت رفع عیوب و اختلال های دینامیک و استاتیک تصاویر داشته باشد.

 

ویژگی های کلیدی:

- طراحی منحصر به فرد دید وسیع (wide Field Optics) به همراه یک لنز متوسط اختصاصی (IML) یک رنج وسیعی از مودهای کاری و تصویربرداری را ممکن میسازد (به عنوان مثال عمق فوکوس های مختلف)

Real time In-Flight Beam Tracing  برای عملکرد و بهینه سازی پرتو که قابلیت کنترل مستقیم و مداوم روی اندازه و جریان پرتو را دارد.

- تنظیمات سیستم الکترونی به صورت کاملا اتوماتیک.

- سرعت بالای تصویربرداری با نرخ حدودا 20 نانوثانیه.

- تصویربرداری منحصر به فرد استریوسکوپی با استفاده از تکنولوژی پیشرفته 3D Beam که تجربه بررسی و تصویر بردازی 3D در مقیاس نانو و میکرو را در اختیار کاربر میگذارد.

- 50 برابر سریعتر از FIBهای معمولی با منبع یون Ga.

- جریان یونی بین 1pA تا 2mA و رزولوشن کمتر از 25نانومتر (ستون Xe پلاسما که به صورت خاص و ویژه طراحی شده است رسیدن به رزولوشن کمتر از 15 نانومتر را ممکن میسازد)

- مقدار بالایی از یون های زنون در جریان FIB باعث سرعت بسیار بالایی فرآیند بدون نیاز به تزریق گاز کمکی میشود

- اتم های گاز نجیب Xe خواص الکتریکی را در مجاورت نقطه اثر تغییر نمیدهد.

- بدون ایجاد ترکیبات اینترتالیک در حین پرتو دهی یونی.

 

 

 

 

میکروسکوپ روبشی

EDX

آزمایشگاه SEM

مشخصات فنی محصول

ابعاد مدل XM

ابعاد داخلی 285mm × 340mm
W × D
ابعاد در 285mm × 320mm
W × H
تعداد پورت ها 12
نوع نگهدارنده اتوماتیک
حداکثر ارتفاع مجاز نمونه 139 میلیمتر
چرخش (Rotation) 360 درجه
شیب (Tilt) 90+ تا 30-

ابعاد مدل GM

ابعاد داخلی 340mm × 315mm
W × D
ابعاد در 340mm × 320mm
W × H
تعداد پورت ها 20
نوع نگهدارنده اتوماتیک
حداکثر ارتفاع مجاز نمونه 139 میلیمتر
چرخش (Rotation) 360 درجه
شیب (Tilt) 90+ تا 60-

سیستم خلا

خلا محفظه در حالت فشار بالا : 4-^ 10 × 5 پاسکال
خلا تفنگ الکترونی کمتر از 7-^10 × 3 پاسکال
خلا تفنگ یونی کمتر از 7-^10 × 3 پاسکال
خلا ستون کمتر از 3-^10 × 9 پاسکال

مشخصات سیستم الکترونی

تفنگ الکترونی High Brightness Schottky Emitter
بزرگنمایی 2 تا 1.000.000 برابر
Prob Current 2pA تا 2 میکرو آمپر

مشخصات سیستم یونی

ستون یونی i-FIB
تفنگ یونی Xe Plasma ion Source
بزرگنمایی حداقل 150 برابر با 10kV
حداکثر 1.000.000 برابر
Prob Current 2pA تا 2 میکرو آمپر
SEM-FIB زاویه 55 درجه
رزولوشن 30 نانومتر در 30kV
ولتاژ تولیدی 3kV تا 30kV

آشکارسازها

SE دارد
Retractable BSE دارد
In-Beam SE دارد (Optional)
LVSTD دارد (Optional)
BDT دارد (Optional)
In-Beam BSE دارد (Optional)
STEM دارد (Optional)
CL دارد (Optional)
EBIC دارد (Optional)
EDX دارد (Optional)
WDX دارد (Optional)
EBSD دارد (Optional)

تجهیزات جانبی

PA Meter دارد
Touch Alarm دارد
IR TV Camera دارد
Peltier Cooling Stage دارد (Optional)
Load Lock دارد (Optional)
Active Vibration Isolation دارد
Beam Blanker for SEM Column دارد (Optional)
Gas Injection System دارد (Optional)
نظر

  نظرات کاربران (0 نظر)

شما هم می توانید در مورد این مطلب نظر دهید نظر خود را بنویسید
امتیاز شما به این مطلب: