VEGA3 یک سیستم SEM ترمویونی است که به همراه منبع الکترونی یا به صورت فیلمان تنگستنی و یا هگزابورید لانتانیم (LaB6) ارائه میشود
VEGA3 یک سیستم چند منظوره است که برای کار در هر دو حالت خلاء کم و باکیفیت آماده شده است و برای کاربران مزایای استفاده از جدیدترین تکنولوژی (از قبیل جدیدترین و پیشرفته ترین قطعات الکترونیک برای سریعترین عکسبرداری، سیستم اسکن فوق سریع و ...) فراهم میکند. علاوه بر این، با استفاده از پمپ های خلاء توربو مولکولی و چرخشی، بهینه ترین خلاء برای انجام کار در عرض چند دقیقه محیا میشود.
میکروسکوپ VEGA3 را می توان در 4 اندازه محفظه SB، LM، XM و GM تهیه کرد. تمامی این محفظه ها دارای پورت های مختلفی هستند و با هندسه خاصی جهت استفاده از EDX، WDX و EBSD طراحی شده اند. سری VEGA با توجه به طیف گسترده ای از کاربردهای SEM و نیازهای تحقیق و صنعت امروز طراحی شده است. VEGA3 یک انتخاب بسیار عالی برای کسانی است که به دنبال یک سیستم SEM قابل اعتماد و کاملا کاربردی هستند.
ویژگی های کلیدی:
- وجود چهار لنز دید وسیع (Wide Field Optics) به علاوه لنز میانی اختصاصی TESCAN برای بهینه سازی پرتوها، دامنه وسیعی از امکانات نمایش و کار را فراهم میکند.
- ساختار ستون بدون هیچ قطعه مکانیکی، اجازه میدهد تمامی تنظیمات به صورت خودکار انجام شوند.
- امکان تنظیمات خودکار در تمامی مراحل فراهم است و این موضوع امکان آنالیز و ذره یابی خودکار را ممکن میسازد.
- کنترل و حرکت نمونه ها به صورت تمام اتوماتیک است که موجب راحتی کار اپراتور میشود.
- طراحی هندسی دستگاه به صورتی است که امکان استفاده از EDX, WDX, EDSD و الگو EBSD را فراهم میکند.
- ایجاد خلا ساده و سریع در محفظه توسط پمپ خلا توربوملوکولار قوی و پمپ خلا چرخشی.
- نرم افزارهای کارآمد برای کنترل SEM, تصویربرداری، جمع آوری و نگهداری اطلاعات، پردازش و آنالیز نمونه ها در محیط های چند کاربره و چند زبانه.
- وجود تمامی قطعات و بخشهای شبکه طبق استانداردهای شرکت TESCASN.
- تصویربرداری منحصر به فرد استریوسکوپی (Stereoscopic) زنده با استفاده از فناوری Beam 3D.
میکروسکوپ روبشی
EDX
آزمایشگاه SEM