طیف سنجی اشعه ایکس یکی از رایج ترین روش های ارائه شده همراه با SEM برای میکروآنالیز است. اسپکتروسکوپی پراش انرژی اشعه ایکسEDX و پراش طول موج اشعه WDX دو نوع از این تکنیک ها هستند که در آن اشعه X حاصل از برخورد باریکه الکترونی با نمونه آنالیز شده تا ترکیبات عنصری نمونه به صورت نمودار (هیستوگرام) شناسایی شود. پیک های ایجاد شده در طیف EDX و WDX به صورت مشخص به اشعه ایکس از یک عنصر خاص تعلق دارند. بنابراین، طیف ها مشخصات شیمیایی کمی دقیقی از نمونه ها را فراهم می کنند.
در تجزیه و تحلیل EDX، کل انرژی مربوط به اشعه X عناصر به طور همزمان آنالیز میشوند در حالی که در WDX فقط یک طول موج مشخص (مربوط به یک مقدار انرژی) در یک زمان اندازه گیری می شود. بنابراین، آنالیز EDX نسبت به WDX سریع تر است.
از نظر رزولوشن و دقت WDX به طور قابل توجهی بهتر از EDX عمل میکند. Peak غایب در آنالیز EDX به طور واضح در طیف WDX حضور دارند. این امر مخصوصا در تجزیه و تحلیل عناصر با مقدار بسیار کم خیلی مفید است.
EDX و WDX می توانند به طور همزمان بدون هیچ گونه تاثیری بر یکدیگر عمل کرده و داده جمع آوری کنند. برای نمونه های ناشناخته، انجام یک آنالیز اولیه EDX، که عناصر اصلی موجود در نمونه را شناسایی می کند، مناسب تر است و به دنبال آن یک آنالیز حساس تر WDX به منظور تعیین پیک هایی که همپوشانی داشته اند و شناسایی عناصر مقدار پایین که کمتر از حد تشخیص EDX بوده اند امجام میشود.
