Beam Deceleration Technology

    

 

تکنولوژی کاهش سرعت پرتو (BDT) برای افزایش رزولوشن در انرژی پرتوهای الکترونی کم ایجاد شده است.

BDT شامل یک سیستم برای بایاس ولتاژ منفی محل نمونه و آشکارساز In-Beam است که یا به عنوان آشکارساز SE در حالت (BDM) یا آشکارساز BSE در حالت استاندارد کار می کند.

 

در BDM، انرژی الکترونها در پرتو قبل از برخورد با سطح نمونه با استفاده از یک ولتاژ بایاس منفی که بر  روی محل نمونه اعمال می شود، کاهش می یابد. انرژی فرود بسیار کم تا 50 EV (یا 0 EV در کنترل دستی) قابل دستیابی است. BDM عملکرد ستون الکترون را با کاهش اختلالات تصویری افزایش می دهد، در نتیجه اجازه می دهد تا تصویربرداری با وضوح بسیار بالا در انرژی های کم رخ دهد.

انرژی پایین الکترون ها با کاهش اثرات شارژ یک مزیت بزرگ در نمونه های غیرهادی و نمونه هایی که نسبت به پرتوی الکترونی حساس هستند (مانند لایه های مقطع عرضی ترانزیستور در مدارهای مجتمع برای تجزیه و تحلیل شکست، مواد بادی الکتریک کم و فتوسنتزها) محسوب میشود. BDM به ویژه برای تصویربرداری از نمونه های بیولوژیکی در حالت بدون پوشش در انرژی پرتوهای بسیار کم بدون آسیب رساندن به نمونه مناسب است. در این حالت، وضوح نهایی بسیار بالایی در انرژی کم فرود برای دست یابی حداکثر جزئیات سطح و کنتراست توپوگرافی و ممتاز برجسته به دست می آید.

 

توپ های قلع بر روی کربن تصویر BDM در 1 کیلو ولت با استفاده ازآشکارساز (SE (BDM (بالا) ارائه اطلاعات توپوگرافی با اثر لبه معمولی  و با استفاده از (BSE (BDM آشکارساز (پایین) ارائه اطلاعات ترکیبی.